沈陽芯源微電子設備股份有限公司由中科院沈陽自動化研究所于2002年底發起創立，公司座落在沈陽市渾南高新技術產業開發區，擁有高等級凈化廠房和一流的研發辦公環境，已通過ISO9001質量體系、ISO14001環境體系、OHSAS18001職業健康與安全體系和SEMI-S2國際產品安全體系認證。
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