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關(guān)鍵詞： (62個字符) 科研儀器、 干式真空泵、 真空部件、 薄膜材料制備設(shè)備、 納米材料制備設(shè)備、 真空冶金設(shè)備、 單晶爐、 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司、
描述： (197個字符) 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司座落于遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號，公司創(chuàng)立于1958年，多年來，公司專注于高真空、超高真空、潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展，是我國集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制、生產(chǎn)基地，先后組建“國家分子束外延技術(shù)試驗基地”、“國家多功能電子能譜儀生產(chǎn)基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程實驗室”等科研平臺。
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